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5月9日，上海新陽（300236）2022年度網(wǎng)上業(yè)績說明會在全景網(wǎng)舉行。有投資者提問：年報顯示公司經(jīng)過自主研發(fā)攻關(guān)，“卡脖子”的關(guān)鍵原材料項(xiàng)目——非羥胺項(xiàng)目報告期內(nèi)取得重大技術(shù)突破，已開發(fā)出滿足晶圓制造企業(yè)要求的無羥胺干法蝕刻后清洗液產(chǎn)品。目前該產(chǎn)品已通過國內(nèi)主流晶圓制造客戶的驗(yàn)證，標(biāo)志著我司對鋁制程清洗技術(shù)的理解與研發(fā)能力已走在世界前列。 請介紹下無羥胺干法蝕刻后清洗液產(chǎn)品有哪些技術(shù)優(yōu)勢及市場前景。

上海新陽董事長王福祥回復(fù)：公司開發(fā)的芯片鋁制程無羥胺干法蝕刻后清洗液技術(shù)，突破了幾十年來嚴(yán)重依賴羥胺這樣一種全球只有一家生產(chǎn)供應(yīng)商的困局，在全球鋁制程干法刻蝕后清洗液率先實(shí)現(xiàn)了突破。同時，該技術(shù)也具有清洗效果優(yōu)異，介質(zhì)兼容性好，工藝窗口寬，使用壽命長等特點(diǎn)。未來將成為替代現(xiàn)有芯片鋁制程清洗液市場很有發(fā)展?jié)摿Φ囊豢町a(chǎn)品。

公開資料顯示，上海新陽始終堅持自主研發(fā)，持續(xù)進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新，經(jīng)過二十多年發(fā)展，主要形成兩大類業(yè)務(wù)，一類為集成電路制造及先進(jìn)封裝用關(guān)鍵工藝材料及配套設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)，并為客戶提供整體化解決方案。另一類為環(huán)保型、功能性涂料的研發(fā)、生產(chǎn)及相關(guān)服務(wù)業(yè)務(wù)，并為客戶提供專業(yè)的整體涂裝業(yè)務(wù)解決方案。（全景網(wǎng)）

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